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一、技術參數：

結構形式                          正排(pai)量風機

體積流量                          110 止(zhi)于  15.570 m3/h

介質                                 空氣(qi) , 中性(xing)(xing)氣(qi)體 , 腐蝕性(xing)(xing)氣(qi)體

輸送                                無(wu)油

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適用于工業高真空技術(shu)的正排量風機(ji)。

帶(dai)有密閉式驅動裝置(zhi)的(de) AERZEN 鼓風機(ji)經過專門設計(ji)，可輸送中性（HM 設計(ji)）和(he)腐蝕性（CM 設計(ji)）氣(qi)體(ti)，用于工業高(gao)(gao)真空技術。 此(ci)系列的(de)特點是高(gao)(gao)能效和(he)高(gao)(gao)可靠(kao)性。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共(gong)可選 14 種結構尺(chi)寸，適(shi)用的(de)理論進氣流(liu)量范(fan)圍(wei)從 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適(shi)用的(de)壓(ya)力范(fan)圍(wei)在 10^-5 mbar **壓(ya)力以內。 產品優勢一覽：

• 通(tong)過 ATEX 0 區(qu)認(ren)證（內部）

• 4 種(zhong)不同電(dian)機(ji)變體，實現**選擇(ze)

• 機械負載較高（高達 150 mbar），因此縮短了(le)泵送時間

• 僅消耗(hao)極少水、氮和油

• 適用于凈室環境應用

• 借助(zhu)變頻器實(shi)現較大的控制范圍(wei)（從 1.450 到(dao) 7.400 rpm，或從 1.240 到(dao) 2.900 rpm）

• 可(ke)選擇縱(zong)向或水平(ping)輸送方向

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可(ke)選(xuan) 9 種結構(gou)尺寸，在 10^-5 mbar 的**真空壓(ya)力條(tiao)件下，適用的理論進氣(qi)流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優勢一覽：

• 4 種(zhong)不(bu)同電機變(bian)體，實現**選擇

• 機械(xie)強度較(jiao)高(gao)（HM 系列高(gao)達 230 mbar），因(yin)而大幅縮短泵送時間

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環境應用

• 借助變頻器實現較大的控制范圍，各項參數(shu)針對 AERZEN 密(mi)閉式電機鼓風機進行過調(diao)整，卓有(you)成效

• 可(ke)選擇縱向(xiang)或水平流動(dong)方向(xiang)

三、性能：

AERZEN 密閉式電(dian)機(ji)鼓(gu)風機(ji)大幅縮(suo)短泵送(song)時(shi)間，從而提高了產(chan)量。 這是(shi)工藝優(you)化的(de)一大進步。

設計與結構

AERZEN 真(zhen)空(kong)泵的(de)(de)(de)殼體法蘭之(zhi)處配有 O 形圈密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)件。 風機(ji)頭還有真(zhen)空(kong)密(mi)(mi)閉性和(he)空(kong)氣冷(leng)卻等其(qi)他重要優勢。 由濺油潤(run)滑裝(zhuang)置提供潤(run)滑油。 礦物油和(he) PFPE 油都(dou)可(ke)(ke)以作為潤(run)滑劑，PFPE 油通(tong)(tong)(tong)常(chang)用(yong)于(yu)半導體技(ji)術(shu)。 密(mi)(mi)閉式電機(ji)鼓風機(ji)在輸(shu)送室(shi)和(he)軸(zhou)承室(shi)配有專用(yong)的(de)(de)(de)矩(ju)形圓環—迷宮—密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)件。 另外還安裝(zhuang)了一(yi)個配有冷(leng)凝通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)大尺寸中和(he)室(shi)。 或者(zhe)，中和(he)室(shi)可(ke)(ke)以用(yong)密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)氣體沖洗，以實(shi)現更(geng)(geng)強的(de)(de)(de)密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)效果(guo)。 一(yi)體化密(mi)(mi)閉式電機(ji)可(ke)(ke)確保對驅動(dong)軸(zhou)的(de)(de)(de)密(mi)(mi)封(feng)(feng)(feng)。 因此(ci)無需連接大氣的(de)(de)(de)軸(zhou)通(tong)(tong)(tong)道(dao)(dao)，從(cong)而可(ke)(ke)以從(cong)技(ji)術(shu)上實(shi)現明(ming)顯更(geng)(geng)高的(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)。

四、應用：

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)在(zai)大氣壓力條件下(xia)開始運(yun)(yun)行。 通常在(zai)大約 50 至 200 mbar 的(de)條件下(xia)連接密閉式(shi)電(dian)機(ji)鼓風機(ji)，然(ran)后泵(beng)(beng)(beng)送(song)流程(cheng)啟動。 根據應用(yong)的(de)不(bu)同，可以使用(yong)液環泵(beng)(beng)(beng)、滑片式(shi)真空泵(beng)(beng)(beng)、螺桿真空泵(beng)(beng)(beng)或(huo)鼓風機(ji)作為(wei)前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)。 配有(you) AERZEN 變(bian)頻器并使用(yong)專用(yong)參數集時，前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)也可以在(zai)大氣壓力條件下(xia)運(yun)(yun)行。

應用領域

• 半導體行業

• 微電子工業

• 平面屏幕制造

• 激光技術

• 太陽能技術

• 氦檢漏裝置

• 化學工藝技術

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用帶(dai)有(you)密閉式驅(qu)動裝置(zhi)的 AERZEN 真(zhen)空鼓風機時，必(bi)須配備額外的前級(ji)泵（多級(ji)系統(tong)）。