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一、技術參數：

結構形式(shi)                          正(zheng)排(pai)量風(feng)機(ji)

體積流量                          110 止(zhi)于  15.570 m3/h

介質(zhi)                                 空氣 , 中性氣體 , 腐(fu)蝕性氣體

輸(shu)送                                無油

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適用于工業高真(zhen)空技(ji)術的正排量風機(ji)。

帶(dai)有密閉式驅動裝(zhuang)置(zhi)的 AERZEN 鼓(gu)風機經過專門(men)設計(ji)，可輸(shu)送(song)中(zhong)性(xing)(xing)（HM 設計(ji)）和(he)腐蝕性(xing)(xing)（CM 設計(ji)）氣體，用于(yu)工業高真空技術。 此系列的特點是高能(neng)效和(he)高可靠性(xing)(xing)。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系(xi)列(lie)共可選 14 種結構(gou)尺寸，適用的理論(lun)進氣流量范(fan)圍從 110 m3/h 到(dao) 15,340 m3/h，適用的壓(ya)力范(fan)圍在 10^-5 mbar **壓(ya)力以內(nei)。 產品優(you)勢一覽(lan)：

• 通過 ATEX 0 區(qu)認(ren)證(zheng)（內部）

• 4 種(zhong)不同(tong)電機變體，實(shi)現**選擇

• 機械負載較高（高達 150 mbar），因此縮短了泵(beng)送時間

• 僅消耗(hao)極少(shao)水、氮(dan)和油

• 適用于凈室環境應用

• 借助變(bian)頻器(qi)實現較大的(de)控制范圍（從 1.450 到 7.400 rpm，或(huo)從 1.240 到 2.900 rpm）

• 可選擇縱向(xiang)或水平輸送方向(xiang)

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可選 9 種結構尺寸，在 10^-5 mbar 的**真空(kong)壓力條件下，適用的理論進(jin)氣流量范(fan)圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產品優(you)勢一(yi)覽(lan)：

• 4 種不同電(dian)機變(bian)體，實(shi)現**選擇

• 機械強度較高（HM 系列高達 230 mbar），因而(er)大幅縮(suo)短泵送時間(jian)

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環境應用

• 借助變頻器實(shi)現較大(da)的控制范(fan)圍，各項參(can)數針(zhen)對 AERZEN 密閉式電機鼓風機進行過調整，卓有(you)成效

• 可選(xuan)擇縱向(xiang)或水平流(liu)動方向(xiang)

三(san)、性能：

AERZEN 密(mi)閉式電機(ji)鼓風機(ji)大幅(fu)縮(suo)短泵送時間(jian)，從而(er)提高(gao)了產(chan)量。 這是工藝優化的(de)一大進步(bu)。

設計與結構

AERZEN 真(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)殼體(ti)(ti)法蘭(lan)之處配(pei)有(you)(you) O 形圈密封件(jian)。 風(feng)(feng)機(ji)(ji)頭還有(you)(you)真(zhen)(zhen)空密閉性(xing)和(he)空氣(qi)冷卻等(deng)其他重要優勢。 由濺油(you)(you)潤滑裝置提供(gong)潤滑油(you)(you)。 礦(kuang)物(wu)油(you)(you)和(he) PFPE 油(you)(you)都可以(yi)(yi)作為潤滑劑，PFPE 油(you)(you)通常用于半導體(ti)(ti)技(ji)術。 密閉式電機(ji)(ji)鼓風(feng)(feng)機(ji)(ji)在(zai)輸送室(shi)和(he)軸(zhou)(zhou)承室(shi)配(pei)有(you)(you)專(zhuan)用的(de)(de)矩形圓環(huan)—迷宮—密封件(jian)。 另外(wai)還安(an)裝了一個配(pei)有(you)(you)冷凝通道的(de)(de)大尺寸中和(he)室(shi)。 或(huo)者，中和(he)室(shi)可以(yi)(yi)用密封氣(qi)體(ti)(ti)沖洗，以(yi)(yi)實現(xian)更(geng)強的(de)(de)密封效(xiao)果(guo)。 一體(ti)(ti)化密閉式電機(ji)(ji)可確保對驅(qu)動軸(zhou)(zhou)的(de)(de)密封。 因此無需(xu)連接大氣(qi)的(de)(de)軸(zhou)(zhou)通道，從而可以(yi)(yi)從技(ji)術上實現(xian)明顯更(geng)高(gao)的(de)(de)轉速。

四(si)、應用：

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前級泵(beng)(beng)在(zai)大氣壓力(li)條件下開始運行(xing)。 通常在(zai)大約 50 至 200 mbar 的(de)條件下連接密閉式電機(ji)鼓(gu)風機(ji)，然后泵(beng)(beng)送(song)流程啟動。 根據(ju)應用(yong)的(de)不同，可(ke)以(yi)使(shi)用(yong)液環泵(beng)(beng)、滑片式真空(kong)泵(beng)(beng)、螺桿真空(kong)泵(beng)(beng)或鼓(gu)風機(ji)作為前級泵(beng)(beng)。 配有 AERZEN 變(bian)頻器并(bing)使(shi)用(yong)專用(yong)參(can)數集時，前級泵(beng)(beng)也可(ke)以(yi)在(zai)大氣壓力(li)條件下運行(xing)。

應用領域

• 半導體行業

• 微電子工業

• 平面屏幕制造

• 激光技術

• 太陽能技術

• 氦檢漏裝置

• 化學工藝技術

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用帶有密閉式驅動裝(zhuang)置的(de) AERZEN 真(zhen)空鼓風機(ji)時(shi)，必須配(pei)備(bei)額外的(de)前級泵(beng)（多級系統）。