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一、技術參數：

結構形式                          正排量風機

體積流量                          110 止于  15.570 m3/h

介(jie)質                                 空氣 , 中性氣體(ti) , 腐蝕性氣體(ti)

輸(shu)送                                無油(you)

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適(shi)用于工業高(gao)真空技術的正排(pai)量風(feng)機。

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專(zhuan)門設計，可輸送中性（HM 設計）和(he)腐蝕性（CM 設計）氣(qi)體，用于工業高(gao)真空技術。 此系(xi)列的特點是高(gao)能效和(he)高(gao)可靠性。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系(xi)列(lie)共可選 14 種結構尺寸，適(shi)用的理(li)論進氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適(shi)用的壓力(li)范圍在 10^-5 mbar **壓力(li)以內。 產品(pin)優(you)勢一覽：

• 通(tong)過 ATEX 0 區(qu)認證（內部(bu)）

• 4 種(zhong)不同電機變體，實現**選擇

• 機械負載較高（高達 150 mbar），因此縮(suo)短了泵送時(shi)間

• 僅消耗極少水、氮(dan)和油

• 適用于凈室環境應用

• 借助變頻(pin)器實現較大的控制范(fan)圍（從 1.450 到(dao) 7.400 rpm，或(huo)從 1.240 到(dao) 2.900 rpm）

• 可選擇(ze)縱向或水平輸送方向

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可選 9 種(zhong)結(jie)構尺寸，在(zai) 10^-5 mbar 的**真空壓力條件下(xia)，適用的理(li)論(lun)進氣流量范圍(wei)從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chan)品優(you)勢一(yi)覽：

• 4 種不同電機變體，實現**選擇

• 機械(xie)強度較高（HM 系列高達 230 mbar），因而大(da)幅縮短泵送時間

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環境應用

• 借助變頻(pin)器實現(xian)較大的控(kong)制范圍，各項(xiang)參數針對 AERZEN 密閉式電機(ji)鼓風機(ji)進行(xing)過調整，卓有成效

• 可選擇縱向(xiang)或(huo)水(shui)平流(liu)動方向(xiang)

三、性能：

AERZEN 密閉式電機鼓(gu)風機大(da)幅縮短泵送時間(jian)，從而提(ti)高了產量。 這是工藝優(you)化的(de)一大(da)進步(bu)。

設計與結構

AERZEN 真(zhen)空(kong)(kong)泵的(de)(de)(de)殼體(ti)(ti)法蘭之處配(pei)有(you) O 形圈(quan)密(mi)封(feng)件。 風機(ji)頭還(huan)有(you)真(zhen)空(kong)(kong)密(mi)閉(bi)性和(he)(he)空(kong)(kong)氣冷卻等其他重(zhong)要優勢。 由濺油潤(run)滑裝置提供潤(run)滑油。 礦物油和(he)(he) PFPE 油都可以作為(wei)潤(run)滑劑，PFPE 油通(tong)常(chang)用(yong)于半導體(ti)(ti)技(ji)術(shu)。 密(mi)閉(bi)式電(dian)機(ji)鼓風機(ji)在輸送室(shi)(shi)和(he)(he)軸(zhou)(zhou)承室(shi)(shi)配(pei)有(you)專用(yong)的(de)(de)(de)矩形圓環—迷宮—密(mi)封(feng)件。 另外還(huan)安裝了一(yi)(yi)個配(pei)有(you)冷凝(ning)通(tong)道(dao)的(de)(de)(de)大尺寸中和(he)(he)室(shi)(shi)。 或者，中和(he)(he)室(shi)(shi)可以用(yong)密(mi)封(feng)氣體(ti)(ti)沖洗，以實(shi)現更強的(de)(de)(de)密(mi)封(feng)效果。 一(yi)(yi)體(ti)(ti)化密(mi)閉(bi)式電(dian)機(ji)可確保對驅動軸(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)密(mi)封(feng)。 因此無(wu)需連接大氣的(de)(de)(de)軸(zhou)(zhou)通(tong)道(dao)，從而(er)可以從技(ji)術(shu)上實(shi)現明(ming)顯更高的(de)(de)(de)轉速。

四(si)、應用(yong)：

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專用于工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此(ci)前(qian)(qian)級(ji)(ji)泵在(zai)大(da)(da)氣壓力(li)條(tiao)件(jian)(jian)下(xia)開(kai)始運行。 通常在(zai)大(da)(da)約(yue) 50 至 200 mbar 的條(tiao)件(jian)(jian)下(xia)連接密閉式(shi)電機鼓(gu)(gu)風機，然后(hou)泵送流程(cheng)啟(qi)動。 根據應用的不(bu)同，可以(yi)使用液環泵、滑片式(shi)真空(kong)泵、螺桿真空(kong)泵或鼓(gu)(gu)風機作為前(qian)(qian)級(ji)(ji)泵。 配有 AERZEN 變頻(pin)器并使用專用參數集時，前(qian)(qian)級(ji)(ji)泵也(ye)可以(yi)在(zai)大(da)(da)氣壓力(li)條(tiao)件(jian)(jian)下(xia)運行。

應用領域

• 半導體行業

• 微電子工業

• 平面屏幕制造

• 激光技術

• 太陽能技術

• 氦檢漏裝置

• 化學工藝技術

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qu)動裝置的(de) AERZEN 真空鼓風機(ji)時(shi)，必須配(pei)備(bei)額外的(de)前級泵（多級系統）。